第(2/3)页 一把手反而笑了一下。 “设备好了,数据就得更好。” “会的。”苏明哲说。 他回答完,低头继续看千分尺上的刻度,像什么领导都没来过一样。 一把手没生气。转身往外走。 “这人不错。”他边走边说。 第二站是碳化硅研发中心。 这里气氛比钠电车间更静一点。 观察走廊里,十台外延炉排成一线。指示灯红绿交替。里面的炉腔在工作,发出低沉的嗡鸣声。 陶安然站在控制台前,周德明在她旁边,拿着记录板。 “介绍一下。”陈启说,“这是我们的碳化硅量产测试线。” 一把手停住脚步。 “就是那条被美国人拉实体清单卡的线?” “对。”陈启说。 “现在怎么样?” “晶棒良率95%以上。切片和外延还在持续优化,但第一批量产级别样品已经稳定出来了。” 一把手转头,看向后面那位头发花白的院士。 “张院士,你看一眼。” 张院士上前。 他手里拿着一片刚切出来的六英寸碳化硅晶圆。先对着光看。然后拿便携式放大镜看。 没人催。 最后他抬头。 “微管缺陷率确实压到了极低。”张院士说,“从材料纯度、切片边缘一致性和抛光表面判断,这不是实验室样品。是量产级别的东西。” 这句话一出来,后面几位厅长的表情都变了。 他们懂不懂技术是另一回事,但他们知道“院士当场背书”意味着什么。 “而且他们这套设备,真的是国产改的。不是贴牌,不是换壳。是把底层热场和控制逻辑一起重构了。” 一把手站在那里,看着玻璃后面的外延炉,很久没说话。 工业园远处的塔吊在缓慢转动。风吹过走廊,卷起一点细小的灰。 然后他说了一句。 “谁也折不断。” 声音不高。但旁边的人全听见了。 一把手转头看陈启。 “陈总。你们现在最大的困难是什么?” 陈启没讲套话。 “时间。”他说,“还有设备国产化的速度。” “钱够吗?” “暂时够。” “人呢?” “高端人才永远缺。但还能扛。” 一把手点头。 “好。你讲的是实话。” 调研组继续往产业新城二期走。 高处的平台上,能看到大半片土地。新修的路网骨架已经出来了。几栋研发楼的主体在往上长。更远一点,是预留给上下游供应链企业入驻的区域。 第(2/3)页